蓝宝石衬底_Chiselwall 机场手机版

蓝宝石衬底

产品说明：其它晶面如A，R面可定制。该产品规格：2(50.8mm) 0.4mm ，单面抛光，结晶方向： 0001 即 c 轴，现货。接受尺寸定制。蓝宝石基片还可用于半导体工业中的外延片，可以用于制作 LED，更

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其它晶面如A，R面可定制。

该产品规格：2"(50.8mm)×0.4mm，单面抛光，结晶方向：<0001>,即c轴，现货。

接受尺寸定制。

蓝宝石基片还可用于半导体工业中的外延片，可以用于制作LED，更是实验室科研(作为外延芯片，外延单晶薄膜的基片)。

单面抛光

外延级抛光-参考指标

材料 Material	高纯度单晶Al2O3
晶向 Orientation	C面（0001）±0.3°
对M轴偏离角度	0.20 ± 0.05°
对A轴偏离角度	0.0 ± 0.1°
直径 Dismeter	50.8±0.15mm
厚度 Thickness	330μm/430μm±25μm
总厚度偏差TTV	＜10μm
表面总平整度TIR	≦10μm
弯曲度 WARP	≦15μm
翘曲度 BOW	-10 ~ 0μm
定位面方向 Primary Flat Location	A面（11-20）
定位面偏离角度Flat Off-set Angle	0.0 ± 0.2°
定位边长Primary Flat Length	16±0.5mm
表面粗糙度Frontside Surface Roughness	RA≦3（即Ra≦0.3nm）
背面粗糙度 Backside Surface Roughness (Ra)	Ra=0.5~1.0μm

2英寸(50.8mm)*0.43mm，

3英寸(76.2mm)*0.65mm

4英寸(101.6mm)*0.65mm

6英寸(150mm)*1.3mm

D7*0.43mm：D10*0.43mm：D10*0.65mm：D12.7*0.65mm：D15*0.85mm：D25*0.65mm：